本学工学部長の田畑修教授が、第9回機械学会マイクロ・ナノ工学部門賞（功績賞）を受賞し、11月25日に開催された「第15回マイクロ・ナノ工学シンポジウム」で表彰されました。
同賞は、マイクロ・ナノ工学分野の研究・技術体系の発展と完成に国際的に評価の高い貢献を果たすとともに部門の発展、活性化に顕著な功績のあった個人または団体に授与されるもので、田畑教授は、「マイクロ・ナノシステムの創成に関する研究」で同賞を受賞しました．
田畑教授はこれまで、マイクロ・ナノスケールのセンサーやアクチュエータを製作するための独自の加工・集積化技術の研究開発とこれらを用いて新奇な微小電気機械システムを創成するための設計論を発表。有機アルカリ水溶液を用いた単結晶シリコン結晶異方性エッチング技術や、CMOS集積化センサのプロセス技術、圧力センサー、加速度センサー、赤外線イメージセンサーの開発など、マイクロ・ナノスケールの電気機械システムの学術研究と産業応用に大きく貢献する多くの先駆的な研究成果を創出しています。
（工学部教授 川上 浩司）
関連リンク
Professor Tabata received the JSME Micro-Nano Engineering Division Achievement Award!
Professor Osamu Tabata, Faculty of Engineering, KUAS received the 9th Japan Society of Mechanical Engineers Micro-Nano Engineering Division Award (Achievement Award). It is awarded to individuals or groups who have made internationally acclaimed contributions to the development and completion of research and technology systems in the field of micro-nano engineering and have made outstanding contributions to the development and revitalization of the division.
Professor Tabata received the award for his research on “the creation of micro- and nano-systems,” at the ceremony held in the 15th Micro- and Nano-Engineering Symposium on 25 November 2024.
Professor Tabata has developed a design theory for creating novel micro-nano electromechanical systems using research and development of unique processing and integration technologies for producing micro- and nano-scale sensors and actuators and has produced many pioneering research results.
His main achievements include the development of single-crystal silicon anisotropic etching technology using organic alkaline aqueous solutions, process technology for CMOS integrated sensors, pressure sensors, acceleration sensors, infrared image sensors, and so on. These have contributed significantly to academic research and industrial applications of micro- and nano-scale electromechanical systems.